700×700×500　精度0.8μ校正証

800×600×300 2台　精度0〜1.5μ以内

570×370×300×3台　精度0〜1.5μ以内

570×370×300×3台　精度0〜1.5μ以内

キャムタス•ファナック•ゴードーソリューション•Mコスモス

（準恒温室19〜21°）